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藍寶石拋光液配方技術研發外包服務
胡工
技術成熟等級：
配方研發周期：需評估樣品
研發中心：江蘇省蘇州市
滿意度：--------
藍寶石拋光液配方技術研發外包服務外包服務
項目背景
LED是新一代，具有廣闊應用前景的光源，世界各國都紛紛制定LED技術與產業發展計劃。與發達國家相比，我國發展相對較遲，于2003年正式啟動了“國家半導體照明計劃”，三年后，我國科技部啟動“半導體照明工程”863計劃，推動了我國半導體照明產業的發展。在LED產業鏈中，N-型半導體（GaN）在藍寶石襯底上的無缺陷生長，很大程度上依賴藍寶石晶片的表面加工質量，但是，藍寶石由于其硬度高、化學穩定性好，很難進行加工。為了獲得無損傷表面，人們提出各種加工工藝以期待能夠獲得更高的加工速率、加工質量，降低加工成本�，F階段，在藍寶石晶片的超精密加工中，以拋光最為常用。常見的拋光方法主要有機械拋光和化學拋光。其中機械拋光主要以硬質磨料來磨削，容易在晶面產生劃痕等缺陷，目前已經較少使用�；瘜W拋光是用拋光液中的化學物質與晶片表面發生化學作用，提高機械去除的效率和拋光質量，現已成為半導體加工行業的主導技術。
產品名稱： 藍寶石拋光液（配方服務） 產品主要用途：金屬加工 出具報告：禾川化學檢測報告 
應用領域
藍寶石拋光液主要用于藍寶石襯底的拋光。還可廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光，如：硅片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。 
實例照片
組分
質量百分比
二氧化硅
30~40
氫氧化鈉（氫氧化鉀）
0~1
無機鹽（1種或多種）
0~1
無機堿/有機堿（一種或多種）
0~1
絡合劑(醋酸鈉)
0~1
緩蝕劑(BTA)
0~1
表面活性劑或分散劑
0~1
穩定劑(聚乙二醇)
0~1
水
余量
為保護核心技術資料的機密性，數據已經過修改處理，僅供參考。本單位對直接照搬配方數據帶來的損失，不負法律責任；如有技術需求直接聯系我中心技術專員400-660-8959
物理指標
序號
項 目
指 標
1
外 觀
乳白色液體
2
固含量
40-45%
3
pH
9~11
4
比重
1.6-2.2
5
建議工作溫度
30-50oC
項目特點
1)拋光液顆粒分散均勻，不團聚，有效避免拋光過程中由于顆粒團聚導致的工件表面劃傷缺陷； 2)拋光液顆粒粒徑分布窄，最大程度提升拋光速度，拋光效率更高；
3)拋光后無明顯劃痕、凹坑、斑點等缺陷，平均粗糙度低；
4)可以循環使用，循環時只需適時調節pH值；
5)拋光后無結晶，易清洗；
6)拋光過程無粉塵產生，環保安全。
項目開發價值
1）技術難點 a.如何提高磨料的分散能力，使分散均勻，防止快速沉降、團聚；
b.如何選取合適的磨料，減少拋光過程中出現劃痕，明顯改善拋光后硅片表面質量，降低表面粗糙度；
c.如何防止加工過程中金屬離子對半導體芯片的危害，提高拋光后產品的成品率；
d.如何控制化學腐蝕作用與機械磨削作用達到一種平衡，防止拋光片表面產生腐蝕坑、桔皮狀波紋，或者機械磨削太強出現的表面損傷。
2）市場價值
a.近兩年，隨著國內研發力度的加大，已經可以研發出新的藍寶石拋光液，一些真正的應用也剛開始嘗試，因此有很大的研發發展空間；
b.該類型研磨拋光液涉及范圍比較廣，多數研磨拋光液的研發機構存在局部的問題，都還無法攻克難關，因此，該項目具有較高的開發價值；
c.禾川研發中心自主研發出的藍寶石拋光液，化學腐蝕和研磨拋光相互補充，可以提高拋光后材料的表面性能，提高產品的成品率。
服務流程
聯系方式
公司：蘇州禾川化學技術服務有限公司
地址：蘇州金雞湖大道99號納米城西北區NW-01幢3樓
電話：400-660-8959/0512-8219 0669
